根據FOREXBNB的報導，英特爾(INTC.US)在周一宣布，阿斯麥(ASML.US)提供的首批兩台尖端光刻機已經在其生產設施中“開始運作”。初步數據表明，這些新型號的光刻機在可靠性方面超越了之前的版本。
在加州聖何塞的一次會議上，英特爾的高級首席工程師Steve Carson透露，公司利用阿斯麥的高數值孔徑(NA)光刻機，在短短一個季度內生產了3萬片大型矽片，這些矽片能夠製造出數千個計算芯片。
去年，英特爾成為全球首個接收這些先進設備的芯片製造商，預計這些設備將製造出比阿斯麥舊型號更小巧、更快速的計算芯片。這一舉措代表了英特爾戰略上的轉變，該公司在採用上一代極紫外(EUV)光刻技術方面曾落後於其他競爭者。
Carson指出，在初步測試中，阿斯麥高數值孔徑光刻機的可靠性大約是上一代設備的兩倍。
Carson強調：“我們能夠以穩定的速度生產矽片，這對於我們的平台來說是一個巨大的利好消息。”
Carson還提到，英特爾工廠的早期數據表明，高數值孔徑光刻機僅需要一次曝光和“個位數”的工藝步驟，就能完成舊型號設備需要三次曝光和大約40個工藝步驟才能完成的任務。
英特爾曾宣布，計劃利用高數值孔徑光刻機來協助開發18A製造技術，該技術預計將在今年晚些時候與新一代個人電腦芯片一同實現量產。
該公司還表示，計劃將高數值孔徑光刻機應用於下一代製造技術14A的全面生產中，但目前尚未公佈該技術的量產時間表。
